时间: 2024-09-07 17:51:51 | 作者: 新闻中心
半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气与半导体特别的材料气体三大类。特别的材料气体大多数都用在外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件与半导体材料制作的完整过程中必不可少的基础性支撑源材料。2021年，全球电子气体的市场规模约为62.51亿美元，较上年增加4.07亿美元，同比增长6.96%；预计2023年全球电子气体市场规模将达69.52亿美元。
全球电子气体主要生产企业有林德、液化空气、大阳日酸、空气化工等前十大企业，共占据全球电子气体90%以上市场占有率，其中林德、液化空气、大阳日酸和空气化工4大国际巨头市场占有率分别为28%、25%、13%、11%。
近年来，随着我们国家超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。2021年，中国电子气体市场规模195.8亿元，较上年增加22.2亿元，同比增长12.79%；预计2023年我国电子气体市场规模将达249亿元。
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